光学微纳检测技术论坛

2025年3月12日

上海新国际博览中心 E6 馆一楼 M34 会议室

时间

演讲题目

演讲嘉宾

09:00-10:00

注册签到

10:00-10:20

FIS4四波剪切干涉传感技术在微纳光学检测中的应用

杨甬英，浙江大学，教授  

10:20-10:40

AI技术的不断发展，几乎对所有领域都带来了影响。该报告将介绍AI技术给微纳测量领域带来的影响，探索测量技术与AI融合发展的途径。

杨树明，西安交通大学，教授

10:40-11:00

基于硅晶格常数米定义的复现及应用

吴金杰，中国计量科学研究院，研究员

11:00-11:20

先进光电精密测量技术及设备

薛勋，中国科学院西安光学精密机械研究所，研究员

11:20-11:40

基于相位信息条纹分析的漫反射／镜面复合表面三维形状测量方法

张宗华，河北工业大学，教授

11:40-12:00

 光电测量技术在半导体行业中的应用

代成伟，江苏集萃中科先进光电所，精测事业部负 责人

12:00-14:00

午餐

14:00-14:20

集成电路缺陷检测技术

周维虎，中国科学院微电子研究所，研究员

14:20-14:40

衍射光学在视光学领域的技术探讨

薛常喜，长春理工大学，教授

14:40-15:00

基于散射的IC套刻误差测量仪器与方法

江浩，华中科技大学，教授  

15:00-15:20

宽禁带半导体原子尺度制造的光谱表征研究

徐宗伟，天津大学，教授

15:20-15:40

从球面、非球面到复杂光学曲面的光学检测技术研究

马鑫雪，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，副研究员

15:40-16:00

一种基于莫尔成像的微位移检测技术研究

申溯, 苏州大学, 教授

16:00-16:20

肖特高均匀性光学玻璃助力精密光学检测仪器

肖特

16:20-16:40

精密光学材料和加工工艺对检测系统性能的影响

刘云龙，北京创思工贸有限公司