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Annual Exhibition Plan

时间：2024年3月21日

地点：上海新国际博览中心 W4馆一楼M6会议室

费用：免费

 

主办单位：

中国光学学会光学测试专业委员会

慕尼黑博览集团

 

承办单位:

南京理工大学

先进固体激光工信部重点实验室

慕尼黑展览（上海）有限公司

 

大会主席：

沈华 教授，南京理工大学

韩冰 研究员，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 

谈宜东 教授，清华大学

 

主题：

微纳结构的光学精密检测技术

 

论坛日程： 

日期

演讲主题

演讲嘉宾

09:00-10:00

注册签到 

10:00-10:25

微结构特征参数的光学显微无损测量方法

袁群，南京理工大学，教授

10:25-10:50

“非典型”光学相位成像及其在工业精密量测中的运用

朱金龙，华中科技大学，教授

10:50-11:15

微纳米薄膜光谱测试技术开发与应用研究

胡春光，天津大学，教授/精密仪器与光电子工程学院副院长

11:15-11:40

面向晶圆微纳制造的三维检测仪器方案介绍

万新军，苏州瑞霏光电科技有限公司，总经理

11:40-12:05

微型刀具光学对刀检刀技术研究

于占江，长春理工大学 跨尺度微纳制造教育部重点实验室，副研究员

12:05-14:00

午餐

14:00-14:25

高分辨成像穆勒矩阵椭偏仪及其纳米测量应用

谷洪刚，华中科技大学，教授

14:25-14:50

基于新型多维信息感知微纳结构的红外探测技术

熊英，国防科技大学，博士

14:50-15:15

基于部分相干光数字全息的晶圆结构检测

孟浩然，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，研究员

15:15-15:40

超精密光学面形干涉检测技术现状、发展趋势和挑战

侯溪，中国科学院光电技术研究所，研究员

15:40-16:05

基于白光干涉的微纳表面形貌测量

苏榕，中国科学院上海光学精密机械研究所，研究员

注：会议议程以当天通告为准

 
部分演讲嘉宾介绍及摘要：

Shirley Hellenbrand
袁群
  • 南京理工大学，教授
南京理工大学教授，博士生导师，入选国家级青年人才，主要从事先进光学设计方法和精密光学测试技术的研究。承担国家自然科学基金项目、国家重点研发计划子课题等科研项目多项。
Shirley Hellenbrand
朱金龙
  • 华中科技大学，教授
入选国家海外高层次（青年）人才、湖北省海外高层次人才、武汉市海外高层次人才、东湖学者、华中大 “华中卓越学者”等人才计划。主要研究方向为光电子纳米尺度探测技术与装备、光电集成器件的设计与制造技术、工业三维测量技术与装备。
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胡春光
  • 天津大学，教授/精密仪器与光电子工程学院副院长
胡春光，天津大学精密仪器与光电子工程学院教授，博士生导师。2007年获得天津大学工学博士学位，2005-2010年在奥地利林茨大学进行博士联合培养和博士后研究。主要从事微纳米测试技术及仪器方面的研究，主持国家和省部级项目13项，发表第一或通讯作者发表SCI检索学术论文60余篇，授权中国发明专利26项，自研技术和仪器在30余家科研机构和企业获得应用推广，获全国优秀博士学位论文、教育部新世纪优秀人才、教育部技术发明一等奖等荣誉，当选中国仪器仪表学会、中国机械工程学会、中国微米纳米技术学会、中国光学工程学会、全国光电测量标准化技术委员会等学术组织的委员。
Shirley Hellenbrand
万新军
  • 苏州瑞霏光电科技有限公司，总经理
清华大学光学工程博士，长期从事晶圆/自由曲面/非球面等精密元件的三维检测技术研究和仪器开发，发表论文20余篇，授权专利20余项。2007-2012年通用电气上海研发中心担任高级工程师。2018年创立苏州瑞霏光电科技有限公司，公司致力于为半导体晶圆和精密光学制造行业提供高精度光电三维检测产品方案。
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谷洪刚
  • 华中科技大学，教授
谷洪刚，华中科技大学机械科学与工程学院教授、博士生导师，国家级青年人才。主要研究方向为微纳光学测量技术、仪器与应用，研究兴趣包括先进光谱椭偏测量技术与仪器、计算光学成像技术与仪器、集成电路在线测量检测技术与装备、新型半导体材料光电特性表征与调控、叠层光电器件光学模拟与优化设计等。
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熊英
  • 国防科技大学，博士
熊英，博士，中国人民解放军国防科技大学博士后。毕业于中国科学院大学获博士学位，长期从事超表面光场调控及应用、微纳结构光学精密加工检测技术等领域研究工作，主要包括：新型多维信息感知光芯片设计、超表面增强型胶体量子点室温红外探测技术、3D微纳结构高精度制造及检测技术。面向光电器件小型化、集成化、多功能化，设计制造高维光场调控超表面光学元件，在Optics Express、Materials等期刊发表相关成果。
Shirley Hellenbrand
孟浩然
  • 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，研究员
就职于中国科学院长春光机所光学室，主要科研领域为傅里叶光学，主要从事干涉测量、光学计算成像、水下光学探测、集成光子学等应用领域。
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侯溪
  • 中国科学院光电技术研究所，研究员
首批中科院青年创新促进会会员,中国光学学会光学测试专业委员会委员。超精密光学制造与检测团队负责人，主持完成国家重大科技专项、国家自然科学基金等项目10余项。负责建立了亚纳米级超精密光学制造和检测平台，突破了系列超精密光学制造和检测核心技术，制造精度跨入到亚纳米级国际先进水平。目前负责或主要参与多项国家、部委重大项目。 牵头国家校准规范1项，在国内外学术期刊及会议上发表论文80余篇，SCI收录25篇，EI收录66篇；授权国家发明专利30余项，参与编写专著1部。在学术会议作邀请报告10余次。
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苏榕
  • 中国科学院上海光学精密机械研究所，研究员
苏榕博士，研究员，博士生导师，中国科学院及上海市海外高层次人才引进。长期致力于超精密光学干涉成像与散射测量仪器与技术研究，聚焦基础理论、核心算法、校准技术、工业应用及相关国际标准制定。主持多项国家和省部级重点研发项目；发表论文40余篇，书籍章节2章，部分技术被国际顶尖仪器制造商采用。担任期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学进展》青年编委，SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE技术委员会委员，全国产品几何技术规范标准化技术委员会委员，中国计量测试学会计量仪器专业委员会委员，中国仪器仪表学会显微分会委员。